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硅晶圆用斜面磨削砂轮

磨削工具

技术支持

硅晶圆、蓝宝石晶圆用斜面磨削砂轮、棘轮

ベベリングホイール1

用于半导体材料基板的斜面磨削加工用砂轮。

该产品具有均一而微小的磨粒层结构,并采用高精度的精加工技术,修整后缺陷少、质量好、加工精度高。

除用于加工外周及凹槽的砂轮外,还备有单槽型、多槽型、精粗加工混合型等3种砂轮。

棘轮

特点

  • 修整少
  • 可进行高精度加工
  • 砂轮的使用寿命长
  • 可降低加工成本

标准选定

用途 蓝宝石加工 硅加工
注重切削锋利度 标准 注重耐用性
结合剂种类 L-MSF N-MB00 P-MB01 R-MB02

加工示例

  硅晶圆斜面磨削 蓝宝石晶圆斜面磨削
外周加工用 砂轮尺寸 φ202×20T×19U×30H×3.7X φ202×20T×19U×30H×3.7X
砂轮规格 SD800/1500 P - MB01 SD400 L - MSF
凹槽加工用 砂轮尺寸 φ3.8×36L×11T×8U×1.4X φ3.8×36L×11T×8U×1.4X
砂轮规格 SD800/1500 P - MB01 SD400 L - MSF