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高温・高压・热处理炉

工程

使用高纯度部材的高温应对装置!追求高温、高压、高纯度炉技术!

高温・高圧・熱処理炉

特点

应对高温高纯度
1200℃规格
  • 通过内面SiC-CVD规格的均热管,防止来自工艺管外部的不纯物。
  • 通过合成石英(VAD)工艺管,防止来自石英部材的污染。
1400℃规格
  • 通过厚膜SiC-CVD工艺管,防止来自工艺管外部的不纯物。
2400℃规格
  • 对碳部材(加热器、马弗管、绝热材料)进行高温纯化,实现使用部材的高纯度化,从而防止污染。

规格

炉内温度范围 ~1200℃ ~1400℃ ~2400℃
加热器 Fe-Cr MoSi2
工艺管 合成石英 厚膜SiC-CVD 碳管
应对高纯度 SiC-CVD均热管 高纯度陶瓷纤维 纯化碳纤维

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