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清洁烘箱

工程

可进行高温热处理的清洁烘箱。也可应对氮气氛。

  • 清洁烘箱
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    基板处理情形

特点

  • 用于最高500℃的加热,可通过热风循环进行均匀加热处理。
  • 使用耐高温的特殊HEPA过滤器,清洁度达到100级。
  • 可用于干燥空气及N2气净化,由于气密性高,氧浓度达到了40ppm。

规格

型式   CLB-DB040404 CLB-DB060606 
方式   强制热风循环(下送风型)
性能(无负荷状态) 使用温度范围 50~500℃
清洁度 温度稳定时100级/升降温时500级
温度分布精度 ±5.0℃(at500℃)
最高温度到达时间 约60分钟
构成 内装 不锈钢 SUS304 #400精加工 
外装 冷轧钢板 三聚氰胺树脂烧结涂装 
绝热材料 陶瓷板、玻璃棉、石棉等
加热器 带翅片护套式加热器(SUS制)
风扇电动机/风扇 多翼式风扇
差压计 0~500Pa
过滤器 高性能耐热HEPA过滤器
控制器 温度控制方式

通过程序控制器的微型计算机进行PID控制

温度设定方式

▲▼键数字设定方式

温度显示方式 绿色LED数字显示
计时器 分钟~99小时59分钟或100小时~999小时 
计时器分辨能力 1分钟或1小时
其他功能

[自动运行]

设定时间后连续运行启动、停止

[程序运行]

最大16段的程序运行

加热器控制电路 SSR ON-OFF控制 
安全装置    温度异常、超温异常、加热器超温、风扇异常、漏电断路器、紧急停止

温度曲线图例

温度曲线图例

尺寸・实用性

型号 CLB-DB040404 CLB-DB060606
规格 宽度×进深×高度 宽度×进深×高度
内尺寸(mm) 400×400×400 600×600×600
外形尺寸(mm) 760×1425×1650 910×1450×2145
内容积(公升) 64 216
电源(200V)/电流(A) 3相/12KVA 3相/22KVA
加热器(kw) 9.0 18.0
重量(约kg) 400 700

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