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CMPパッドコンディショナー

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CMPパッドコンディショナー

高精度平坦加工に使用されるパッド用コンディショナーです。

特長

  • 電着均一配列タイプ
    台金形状の最適化、厳選砥粒の採用により長寿命、スクラッチレス、安定品質を実現
  • 電着コーティングタイプ
    特殊コーティング材採用により、メタル配線プロセス(酸性雰囲気下)においても使用可能
  • ロー付けタイプ
    ロー材と砥粒の化学的反応により強靭な砥粒保持力を実現。砥粒高さを揃えているため品質が安定
  • セラミックタイプ
    セラミック台金にガラス結合材を用いた事でメタルコンタミフリーを実現

用途

半導体、液晶、ガラス用研磨パッドコンディショナー

用途

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