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高精度平坦加工に使用されるパッド用コンディショナーです。
特長
- 電着均一配列タイプ
台金形状の最適化、厳選砥粒の採用により長寿命、スクラッチレス、安定品質を実現 - 電着コーティングタイプ
特殊コーティング材採用により、メタル配線プロセス（酸性雰囲気下）においても使用可能 - ロー付けタイプ
ロー材と砥粒の化学的反応により強靭な砥粒保持力を実現。砥粒高さを揃えているため品質が安定 - セラミックタイプ
セラミック台金にガラス結合材を用いた事でメタルコンタミフリーを実現
用途
半導体、液晶、ガラス用研磨パッドコンディショナー
