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クリーンオーブン

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高温熱処理が可能なクリーンオーブンです。窒素雰囲気対応も可能です。

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    基板処理風景

特長

  • 500℃迄の加熱に対応しており、熱風循環による均一加熱処理が可能です。
  • 高温対応の特殊HEPAフィルターを使用しており、クラス100を達成しました。
  • Dry AirやN2ガスをパージ可能であり、高い気密性により酸素濃度40ppmを達成しました。

仕様

型式   CLB-DB040404 CLB-DB060606 
方式   強制熱風循環(ダウンブロー型) 
性能(無負荷状態) 使用温度範囲 50~500℃
クリーン度 温度安定時クラス100/温度昇降温時クラス500
温度分布精度 ±5.0℃(at500℃)
最高温度到達時間 約60分
構成 内装 ステンレス鋼 SUS304 #400仕上 
外装 冷間圧延鋼板 メラミン樹脂焼付け塗装 
断熱材 セラミックボード、グラスウール、ロックウール等 
ヒーター フィンシーズヒータ(SUS製)
送風機モーター/ファン シロッコファン
差圧計 0~500Pa
フィルタ 高性能耐熱HEPAフィルタ
コントローラ 温度制御方式

プログラムコントローラーのマイクロコンピュータによるPID制御 

温度設定方式

▲▼キーによるデジタル設定方式

温度表示方式 緑色LEDによるデジタル表示
タイマ 1分~99時間59分または100時間~999時間
タイマ分解能 1分または1時間
その他機能

〔オート運転〕

設定した時間後に連続運転スタート、ストップ

〔プログラム運転〕

最大16セグメントのプログラム運転 

ヒーター制御回路  

SSR ON-OFF制御

 安全装置    温度異常、過昇温異常、ヒータ過昇温、ファン異常、漏電ブレーカ、非常停止

温度プロファイル例

温度プロファイル例

寸法・ユーティリティー

型式 CLB-DB040404 CLB-DB060606
規格 幅×奥行×高さ 幅×奥行×高さ
内寸法(mm) 400×400×400 600×600×600
外形寸法(mm) 760×1425×1650 910×1450×2145
内容積(リットル) 64 216
電源(200V)/電流(A) 3相/12KVA 3相/22KVA
ヒータ(kw) 9.0 18.0
重さ(約kg) 400 700

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