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遠心分離機 NCA型

エンジニアリング

遠心分離機 NCA型

微粒子スラッジを高精度で除去する高遠心力タイプ。
Siウェハのマルチワイヤソーやセラミックス加工等の微粒非磁性体スラッジのスラッジ回収に最適です。

最大遠心力:2,200G

※接液部SUS仕様や、更に高遠心力な3,000G仕様もご用意しております。

特長

高効率分離濾過

最大回転時の高速回転で発生する最大2200Gの強力な遠心力により、高効率な分離濾過を実現します。

強力なスラッジ脱水性能

スラッジは強力に脱水され、低含水率で回収可能です。

全自動運転

分離濾過・脱水・スラッジ排出・洗浄までを全自動で行えます。

発泡抑制機構搭載(オプション) 特許取得 PAT:4714091

独自の泡抑制機構により、従来問題であった発泡を抑制しました。

 

仕様

型式 NCA-50G NCA-200G
電源 三相 200V 50/60HZ
適正送液量 20~40L/min 70~140L/min
最大回転数 3400rmp 3200rmp
最大遠心力 2200G
電気容量 メインモーター 5.5kw 7.5kw
ギアモーター 0.2kw
必要エアー圧力 0.5MPa

※液性状や除去対象粒子により、上記調整致します。

性能

※性能テスト条件
[テスト試料] ガラス研磨スラッジ(比重2.5)
平均粒子径2.3μm [テスト液] 水

サンプル SS濃度 除去率
ダーティ液 8461mg/L
1パスクリーン液(新型) 2105mg/L 75%
1パスクリーン液(従来型) 3144mg/L 63%
粒度分布変化
粒度分布変化

用途

半導体・セラミックス

SiやSiC、化合物半導体のウェハ材料等の各種加工、ファインセラミックス・AlN等の各種加工

ガラス・サファイヤ加工

スマホカバーやレンズ、LED基板等、自動車ガラス等の各種加工

 

排水処理

バレル研磨排水等の総合排水処理の負荷低減

鍛造・フォーマ

潤滑油や離型剤のバリや金属屑、ボンデ成分等の除去

各種工作機械

ホーニング機、電解研磨機、放電加工機等の精密加工機、研磨加工液の浄化、固形分の回収リサイクル

[導入例 Introduction case] 固定砥粒ワイヤソーによるシリコンウェハ加工

遠心分離機の有無による付属タンクのSS濃度変化
遠心分離機の有無による付属タンクのSS濃度変化

※弊社にて実施した性能試験結果です。

導入効果

SS濃度の低位安定化

  • 液のリユースが可能となり、ランニングコスト削減
  • 液交換の手間が省け、人件費削減
  • 安定加工を実現

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