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遠心分離機 NCA型

エンジニアリング

遠心分離機 NCA型

微粒子スラッジを高精度で除去する高遠心力タイプ
シリコンウエハのマルチワイヤーソー加工液の再利用に最適です。
遠心力:2200G
従来機:30%UP
業界最高水準の遠心力でクーラント液中の微粒子を分離濾過します。

特長

高効率分離濾過

最大回転時の高速回転で発生する最大2200Gの強力な遠心力により、高効率な分離濾過を実現します。

強力なスラッジ脱水性能

スラッジは強力に脱水され、低含水率で回収可能です。

全自動運転

分離濾過・脱水・スラッジ排出・洗浄までを全自動で行えます。

発泡防止機構搭載      特許申請中

独自の泡防止機構により、従来問題であった泡を抑制しました。

仕様

型式 NCA-50 NCA-200
電源 三相 200V 50/60HZ
適正送液量 20~40L/min 70~140L/min
最大回転数 3400rmp 3200rmp
最大遠心力 2200G
電気容量 メインモーター 5.5kw 7.5kw
ギアモーター 0.2kw
必要エアー圧力 0.5MPa

性能

※性能テスト条件
[テスト試料] ガラス研磨スラッジ(比重2.5)
平均粒子径2.3μm [テスト液] 水

サンプル SS濃度 除去率
ダーティ液 8461mg/L
1パスクリーン液(新型) 2105mg/L 75%
1パスクリーン液(従来型) 3144mg/L 63%
粒度分布変化
粒度分布変化

用途

シリコン加工

太陽電池、半導体ウェハ材料等の各種加工、マルチスライスワイヤソー加工、バンドソー加工

サファイア・ガラス加工

LED基板等の各種加工、ハードディスク基板等の各種加工、ラッピング加工、内外面加工等

各種工作機械

ガンドリル機、ホーニング機、放電加工機、精密研磨機、電解研磨機、歯車研磨機、洗浄機、切断機、センタレス機、両頭機などの研削・研磨加工液の浄化、切粉の回収

[導入例 Introduction case] 固定砥粒ワイヤソーによるシリコンウェハ加工

遠心分離機の有無による付属タンクのSS濃度変化
遠心分離機の有無による付属タンクのSS濃度変化

※弊社にて実施した性能試験結果です。

導入効果

SS濃度の低位安定化

  • 液のリユースが可能となり、ランニングコスト削減
  • 液交換の手間が省け、人件費削減
  • 安定加工を実現

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