ロールtoロール特殊雰囲気炉

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使用温度	R.T.～400℃
温度精度	±5℃
雰囲気	Air、N₂（Option）
クリーン度	Class 1000
フィルム幅	600～1200mm
搬送張力	10～100N

用途

二層FCCLポリイミド本乾燥～熱硬化工程
ポリイミドフィルム水分乾燥工程
各種透明耐熱フィルムのアニール工程

均一加熱

装置専用に開発したヒーターと加熱炉構造により、遠赤外線ヒーターと同時に雰囲気温度を安定化することができ、細かな温度プロファイル設定が可能です。

搬送時のカール、皺問題の解消

加熱に伴う、製品のカールや皺等の諸問題に対応した装置設計を盛り込んでいます。

加熱空間のメンテナンス性向上

炉体上部を大きく開口する機構を採用し、装置稼動前のフィルム通紙作業および定期メンテナンスを容易にしました。

仕様

ゾーン		加熱ゾーン	冷却ゾーン
方式		遠赤外線加熱	間接放射冷却
性能	使用温度範囲	50～400℃	400～25℃
	炉内温度分布精度	±2.0℃	-
	雰囲気安定時間	約60min（無負荷状態）
	対応雰囲気ガス	N2、大気
構成	外壁材	SS、焼付け塗装
	内壁材	SUS304	SUS、アルミニウム
	断熱材	ロックウール	-
	冷却筒	-	ラジエターフィン（AL）
加熱	ヒーター	遠赤外線ヒーター	-
	温度制御方式	TICのマイクロコンピューターによるPID制御	-
	ヒーター制御回路	SSR	-
雰囲気コントロール	給気口	ヒーター表面	-
	排気口	排気口	-
	ガスカーテン	入口1箇所	出口1箇所
	流量計	炉内用5本、ガスカーテン用２本
搬送	形式	ノンタッチ搬送、フリーローラー搬送、ローラー駆動搬送の何れか
	材質	ローラー　SUS304
	駆動装置（OP）	サーボモーター、スピードコントローラー付き
安全装置		温度異常、ファン異常、O₂ガス濃度上昇異常、独立過昇防止器、漏電警報、エア圧異常、非常停止
オプション		6打点記録計、100Vコンセント、タールトラップ、タッチパネル、ヒーター断線警報

寸法・ユーティリティー

型式	NIR-506	NIR-1006	NIR-10011
外形寸法(mm)	1550W×6700L×1480H	1550W×12630L×1480H	2000W×12630L×1400H
加熱部寸法(mm)	5000L	10000L	10000L
冷却部寸法(mm)	1000L	2000L	2000L
有効巾(mm)	600W	600W	1100W
パスライン(mm)	850H	850H	850H
電源(200V)	三相/130KVA	三相/255KVA	三相/442KVA
圧縮エア(kg/cm2)	5	5	5
N2ガス最大使用量(リットル/min)	700	1400	2100
冷却水（リットル/min)	2	3	5