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高温・高圧・熱処理炉

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高純度部材による高温対応装置!高温・高圧・高純度炉技術への追求!

高温・高圧・熱処理炉

特長

高温高純度への対応
1200℃仕様
  • 内面SiC-CVD仕様の均熱管にて、プロセス管外部からの不純物を防止
  • 合成石英(VAD)プロセス管にて、石英部材からの汚染を防止
1400℃仕様
  • 厚膜SiC-CVDプロセス管にてプロセス管外部からの不純物を防止
2400℃仕様
  • カーボン部材(ヒーター、マッフル、断熱材)の高温純化により、使用部材を高純度化し汚染を防止

仕様

炉内温度域 ~1200℃ ~1400℃ ~2400℃
ヒーター Fe-Cr MoSi2 カーボン
プロセス管 合成石英 厚膜SiC-CVD カーボンマッフル
高純度対策 SiC-CVD均熱管 高純度セラミックファイバー 純化カーボンファイバー

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